style="width:2.1133in;height:1.95998in" /> 本文是学习GB-T 33140-2016 集成电路用磷铜阳极. 而整理的学习笔记,分享出来希望更多人受益,如果存在侵权请及时联系我们
本标准规定了集成电路用磷铜阳极(以下简称：磷铜阳极)的要求、试验方法、检验规则及标志、包
装、运输、贮存、质量证明书和订货单(或合同)内容。
本标准适用于集成电路用的各类磷铜阳极产品。
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件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。
GB/T 3177 产品几何技术规范(GPS) 光滑工件尺寸的检验
GB/T 5121.2 铜及铜合金化学分析方法 第2部分：磷含量的测定
GB/T 5121.4 铜及铜合金化学分析方法 第4部分：碳、硫含量的测定
GB/T 5121.28 铜及铜合金化学分析方法
第28部分：铬、铁、锰、钴、镍、锌、砷、硒、银、镉、锡、
锑、碲、铅、铋量的测定 电感耦合等离子体 质谱法
GB/T 14265 金属材料中氢、氧、氮、碳和硫分析方法通则
YS/T 347 铜及铜合金平均晶粒度测定方法
YS/T 922 高纯铜化学分析方法 痕量杂质元素含量的测定 辉光放电质谱法
下列术语和定义适用于本文件。
3.1
磷铜阳极 phosphorized copper anode
在集成电路中采用电化学电镀工艺制备高纯铜金属镀层的阳极。
4.1.1 磷铜阳极按形状分为圆形、矩形和异形(如三角形、环形等),示意图见图1。
style="width:2.1133in;height:1.95998in" />
a) 圆形 b) 矩形 c) 环形
图 1 磷铜阳极形状示意图
GB/T 33140—2016
4.1.2 磷铜阳极按结构分为单体和组合体，结构示意图见图2。
style="width:1.69999in;height:1.68674in" />
a) 单体
style="width:1.73995in;height:1.71336in" />
style="width:1.69338in;height:1.68652in" />
b) 组合体
style="width:1.73334in;height:1.71336in" />
图 2 磷铜阳极单体和组合体结构示意图
注：需方有特殊要求时，由供需双方商定。
磷铜阳极按化学成分分为CuP-99.95、CuP-99.99、CuP-99.995、CuP-99.999
四个牌号。
磷铜阳极的化学成分应符合表1的规定。
表 1 磷铜阳极的化学成分
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GB/T 33140—2016
磷铜阳极尺寸及结构方式与用户使用的机台类型有关，
一般由客户提供图纸，经双方确认后，方可
生产。
磷铜阳极的平均晶粒尺寸应在150μm～450μm
之间。需方有特殊要求时，由供需双方协定。
磷铜阳极表面应清洁、光滑，无指痕、油污、锈蚀、颗粒附着物和其他玷污。
5.1.1 磷的分析：按照 GB/T 5121.2 执行。
合金牌号为 CuP-99.99、CuP-99.995、CuP-99.999 金属元素分析按照 YS/T 922
执行；合金牌号为 CuP-99.95 的金属元素分析按照 GB/T 5121.28
执行；非金属杂质元素 S 的分析按照GB/T 14265 和
GB/T 5121.4 的规定执行。
磷铜阳极几何尺寸的测量按照GB/T3177 的规定进行。
按照 YS/T 347 的规定进行观察、评定和确认。
用目视检查，如发现异常现象，在10倍放大镜条件下进行检查。
6.1.1
产品应由供方检验部门进行检验，保证产品质量符合本标准和订货单(或合同)的规定，并填写
质量证明书。
6.1.2
需方应对收到的产品按本标准的规定进行检验。如检验结果与本标准和订货单(或合同)的规
定不符，应在收到产品之日起1个月内向供方提出，由供需双方协商解决。如需仲裁，仲裁取样应在需
方由供需双方共同进行。
产品应成批提交验收。每批应由同一炉号、同一牌号和规格的产品组成。
6.3.1
产品应进行化学成分、几何尺寸、平均晶粒尺寸、外观质量检验。检验项目、取样位置及数量见表2。
style="width:3.86002in;height:3.23334in" />GB/T 33140—2016
表 2 检验项目、取样位置及数量
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6.3.2
晶粒度测定取样：平均晶粒尺寸的检测在磷铜阳极坯料半成品尺寸加工前进行，取样尺寸为
20 mm×20 mm。取样示意图如图3所示。
样品2
style="width:5.27334in;height:2.44002in" />
a) 圆形 b) 矩形
图 3 磷铜阳极晶粒度取样示意图
6.4.1 化学成分检测不合格时，则判该批生产的产品不合格。
6.4.2 几何尺寸检测有一项不合格时，判该件不合格。
6.4.3
晶粒度抽检不合格时，判该件不合格；剩余产品取双倍试样进行重复试验，重复试验若有一项不
合格时，则判整批产品不合格。
6.4.4 外观质量不合格时，判该件产品不合格。
7 标志、包装、运输、贮存和质量证明书
7.1.1 每块检验合格的磷铜阳极上应进行如下标记：
a) 供应商名称；
b) 产品名称和牌号；
c) 产品类型、规格；
d) 批号。
7.1.2 产品外包装上应贴标签，内容包括：
a) 供应商名称；
b) 产品名称和牌号；
GB/T 33140—2016
c) 批号；
d) 生产日期；
e) 生产企业地址；
f) 产品标准。
7.2.1 产品包装应至少在万级洁净间内进行，每块磷铜阳极独立真空包装。
7.2.2
外包装采用纸盒或中空盒包装。包装盒内应有软质填充。将质量证明书用塑封袋装好后放于
包装盒内。
运输和贮存过程中，应注意防震、防潮、防压、防止二次污染。
每批产品应附有质量证明书，其上注明：
a) 供方名称；
b) 产品名称；
c) 牌号；
d) 规格；
e) 数量；
f) 净重；
g) 批号；
h) 检测报告；
i) 生产日期(或包装日期);
j) 本标准编号。
订购本标准所列产品的订货单(或合同)内应包括下列内容：
a) 产品名称；
b) 牌号；
c) 规格；
d) 数量；
e) 本标准编号；
f) 其他。
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